ISO 14644-16:2019
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 16. Энергоэффективность чистых помещений и отдельных устройств

Документ содержит цветные иллюстрации

 

50 страниц

Опубликован 24.05.2019

Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 16: Energy efficiency in cleanrooms and separative devices